قسم الآلات الدقيقة في جامعة تسينغهوا

كان يسمى قسم الآلات الدقيقة بقسم الآلات الدقيقة وتصنيع الآلات في عام 1960، وعندما تم فصله عن قسم تصنيع الآلات ليكون قسمًا مستقلاً. وفي وقت لاحق، في عام 1971، تم تغيير اسمها إلى قسم الأجهزة الدقيقة