(AFM) أو الفحص المجهري لقوة المسح (SFM)، هو نوع دقيق جدا من الفحص المجهري لمسبار المسح (SPM)، مع دقة واضحة بترتيب كسور النانومتر، أكثر من 1000 مرة من الحيود البصري حد.
مجهر القوة الذرية
- الفحص المجهري لنوع القوة الذرية (AFM) هو نوع من أنواع الفحص المجهري لمسبار المسح (SPM)، حيث يصنع مع ميزة الدقة بترتيب كسور النانومتر بمقدار أكبر من 1000 مرة من حد الانعراج البصري.
- يتم أخذ البيانات المعلومات بواسطة الشعور أو لمس السطح بمسبار ميكانيكي، حيث تسمح العناصر الكهرو إجهادية التي تجعل الحركات الصغيرة سلسة، ولكنها دقيقة بأمر إلكتروني بسبب مسح ضوئي دقيق، وعلى الرغم من الاسم، فإن مجهر القوة الذرية لا يستعمل القوة النووية.
- يحتوي AFM ثلاث قدرات أساسية، وهي القوة والتصوير الطبوغرافي والتلاعب.
- بالنسبة للتصوير فإنه يمكن استعمال تفاعل المسبار مع القوى التي توضحها العينة عليه لإنشاء صورة للشكل ثلاثي الأبعاد لسطح العينة بدقة كبيرة، حيث يتم عمل ذلك بواسطة المسح النقطي لمكان العينة فيما يتعلق بالطرف وكتابة مقدار ارتفاع المسبار الذي يتماشى مع تفاعل عينة مسبار ثابت، ويتم توضيح تضاريس السطح بشكل شائع كمؤامرة pseudocolor.
- على الرغم من أن المنشور الأولي الذي يخص الفحص المجهري للقوة الذرية بواسطة الباحث بينيج و كوات و جربر في عام 1986 وضح عن إمكانية عمل الدقة الذرية، إلا أن التحديات التجريبية العميقة يجب تحديها بقوة قبل التحليل الذري للعيوب وأطراف الخطوة في الظروف المحيطة السائلة والموجودة في عام 1993.
- الدقة الذرية الحقيقية لسطح السيليكون 7×7 – الصور الذرية لهذا السطح التي حدثت لها (STM) قد وضحت للمجتمع العلمي بميزات الفحص المجهري وبسبب دقته العالية للمسح النفقي، وكان عليها الانتظار لفترة أطول قليلاً قبل عرضها من قبل جيسبل.
