الأجهزة الميكانيكية الدقيقة

تم تطبيق (MEMS) بشكل فعال على العديد من أنظمة الميكاترونيك الذكية  مثل المركبات وأجهزة الاستشعار، وقد تمت دراسة موثوقيتها على نطاق واسع.