الفحص المجهري للمسبار
الفحص المجهري للمسبار ( SPM ) هو فرع من الفحص المجهري يشكل صورًا للأسطح باستخدام مسبار مادي يقوم بمسح العينة.
الفحص المجهري للمسبار ( SPM ) هو فرع من الفحص المجهري يشكل صورًا للأسطح باستخدام مسبار مادي يقوم بمسح العينة.
الفحص المجهري هو التقنية المستخدمة لعرض الأشياء التي لا يمكن رؤيتها بالعين المجردة، إذ يمكن أن يكون النطاق أي شيء بين mm و nm، وهناك 3 تقنيات مجهرية رئيسية