الفحص المجهري لمسبار المسح

الفحص المجهري للقوة الذرية (AFM) أو الفحص المجهري لقوة المسح (SFM)، هو نوع عالي الدقة من الفحص المجهري لمسبار المسح (SPM)، مع دقة موضحة بترتيب كسور النانومتر، أكثر من 1000 مرة من الحيود البصري حد.